特許

J-GLOBAL ID：200903009312411906

固体撮像装置の製造方法

発明者： 渡 辺 善 作
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-037306
公開番号（公開出願番号）：特開平7-249751
出願日： 1994年03月08日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】 気密性が損われるのを可及的に防止することを可能にする。【構成】 ほぼ中央に固体撮像素子1が載置された外囲器2に紫外線硬化型接着剤を用いて透光性板10を接合する際に、外囲器または透光性板の一方の接合領域に紫外線硬化型接着剤9を塗布し、透光性板を前記外囲器上に載置し、押圧手段20を用いて透光性板を介して紫外線硬化型接着剤に加圧力を印加し、続いて接合領域上の紫外線硬化型接着剤に紫外線をスポット照射11a,11bして透光性板を外囲器に仮止めし、その後、紫外線を全面照射することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ほぼ中央に固体撮像素子が載置された外囲器に紫外線硬化型接着剤を用いて透光性板を接合する際に、前記外囲器または前記透光性板の一方の接合領域に前記紫外線硬化型接着剤を塗布し、前記透光性板を前記外囲器上に載置し、押圧手段を用いて前記透光性板を介して前記紫外線硬化型接着剤に加圧力を印加し、続いて前記接合領域上の紫外線硬化型接着剤に紫外線をスポット照射して前記透光性板を前記外囲器に仮止めし、その後、紫外線を全面照射することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H01L 23/02