ラップ盤

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-107658
公開番号（公開出願番号）：特開平6-297322
出願日： 1993年04月09日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：

【要約】【目的】定盤の平面度を修正しながらワークをラップでき、ワークの一枚内の厚みバラツキを少なくできるラップ盤を提供すること。【構成】本発明のラップ盤は、上下の定盤と、ワークを保持する保持穴を設けたラップ用キャリヤと、ラップ用キャリヤと同一平面上に配置された修正用キャリヤと、ラップ用キャリヤおよび修正用キャリヤと噛み合う太陽ギヤおよびリングギヤとを備える。修正用キャリヤは、ラップ用キャリヤと同一直径、同一厚みでかつ保持穴を有しない遊星ギヤであり、ラップ用キャリヤと共にラップ盤内にセットすることにより、定盤の摩耗度を常に修正しながらラッピングできる。

請求項（抜粋）：

上下の定盤と、これら定盤の間に配置され、ワークを保持する保持穴を設けたラップ用キャリヤと、ラップ用キャリヤと噛み合う太陽ギヤおよびリングギヤとを備え、太陽ギヤまたはリングギヤの少なくとも一方を回転させることにより、ラップ用キャリヤを自転または自転・公転させ、ワークと上下の定盤とを摺動させることによりワークを研磨するラップ盤において、上記太陽ギヤおよびリングギヤと噛み合い、上記ラップ用キャリヤと同一直径、同一厚みでかつ保持穴を有しない修正用キャリヤを、上下の定盤の間にラップ用キャリヤと同一平面上に配置したことを特徴とするラップ盤。

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