特許
J-GLOBAL ID：200903009328151777
周辺露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-091820
公開番号（公開出願番号）：特開平6-283418
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】 被露光領域に応じた所望の形状に露光を行なうことを可能とする周辺露光装置を得る。【構成】 周辺露光装置において、表面に感光剤が塗布された基板上の所定の照射領域に前記光源からの光を導くライトガイド手段の射出端と前記表面とを所定の移動方向に沿って相対的に移動させる移動手段を有し、ライトガイド手段がその入射端の像を前記射出端に形成するイメージガイド手段を有し、その入射端に、開口部の形状を変化させる開口形状可変手段を設けた。
請求項（抜粋）：
光源と、表面に感光剤が塗布された基板上の所定の照射領域に前記光源からの光を導くライトガイド手段と、該ライトガイド手段の射出端と前記表面とを所定の移動方向に沿って相対的に移動させる移動手段を有する周辺露光装置において、前記ライトガイド手段は、その入射端の像を前記射出端に形成するイメージガイド手段を有し、前記入射端に、開口部の形状を変化させる開口形状可変手段が設けられていることを特徴とする周辺露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
