特許

J-GLOBAL ID：200903009328619159

スクリーンモニタ装置

発明者： 高橋 光幸
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-327191
公開番号（公開出願番号）：特開平9-167700
出願日： 1995年12月15日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【課題】 スクリーンの角度を自由に調整し得るようにする。【解決手段】 真空チェンバ11とスクリーン出入機構53との間に介装された角度調整装置28を用いてナット39〜42と長ボルト38によるブラケット36,37に対する挾持位置を調整することによりスクリーン52の角度調整を簡単に行わせることができる。

請求項（抜粋）：

電子を通過させるようにした真空チェンバの適宜位置に、角度調整装置を介して、電子を衝突させて位置をモニタするためのスクリーンを突出収納可能に備えたスクリーン出入機構を取付けたことを特徴とするスクリーンモニタ装置。