特許
J-GLOBAL ID：200903009334330357
ドレッサ付き片面研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-157610
公開番号（公開出願番号）：特開平9-314457
出願日： 1996年05月29日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：
【要約】【課題】 定盤を修正するに当ってドレッサを加圧プレートに対して着脱する必要のないドレッサ付き片面研磨装置を得る。【解決手段】 回転自在の定盤2と、ワーク6を貼り付けるための貼着ブロック5と、該貼着ブロックを介して上記ワークを定盤に押し付けるための複数の加圧プレート4とを有する研磨装置において、1つの加圧プレート4における上記貼着ブロック5を取り付けるための保持リング11aを、定盤の作業面を修正するためのドレッサとして兼用させ、貼着ブロック5を取り外した状態で上記保持リング11aを定盤2に押し付けることにより、該定盤の作業面を修正できるようにする。
請求項（抜粋）：
モータにより駆動回転自在の定盤と、研磨すべきワークを貼り付けるための貼着ブロックと、該貼着ブロックを介して上記ワークを定盤に押し付けるための複数の加圧プレートとを有し、上記加圧プレートの少なくとも一つが、定盤の作業面を修正するためのドレッサを一体に備えていて、該ドレッサが、上記貼着ブロックを取り外した状態で加圧プレートの下面に露出するように設けられている、ことを特徴とするドレッサ付き片面研磨装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 37/00 A
, B24D 3/06 B
