特許
J-GLOBAL ID:200903009337847350
乾燥方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-329096
公開番号(公開出願番号):特開2004-160352
出願日: 2002年11月13日
公開日(公表日): 2004年06月10日
要約:
【課題】感光層がウエブの凹凸に沿った形状になるように塗布液膜を乾燥する乾燥方法を提供することを課題とする。【解決手段】粗面化された表面部を有して連続走行するウエブ11に塗布液を塗布した後、ウエブ11を直ちに加熱ロール12によって加熱することにより、塗布してなる塗布液膜の流動を停止させる。加熱ロール12で直ちに加熱することにより、塗布液膜の流動を短時間で停止させ易いので、塗布液膜のレベリングが生じ難い。従って、ウエブの表面の凹凸に沿って感光層を形成し易い。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
粗面化された表面部を有して連続走行するウエブに塗布液を連続塗布し、塗布されてなる塗布液膜を乾燥させる乾燥方法において、
塗布液の塗布後にウエブを加熱ロールによって加熱することにより、前記塗布液膜の流動を停止させることを特徴とする乾燥方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (19件):
2H084AA30
, 2H084BB02
, 2H084BB13
, 2H084CC05
, 4D075BB24Z
, 4D075BB36Z
, 4D075BB92Z
, 4D075BB93Z
, 4D075BB95Z
, 4D075CA02
, 4D075CA48
, 4D075DA04
, 4D075DB07
, 4D075DC16
, 4D075DC19
, 4D075DC21
, 4D075DC27
, 4D075EA07
, 4D075EA45
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