特許
J-GLOBAL ID：200903009343621410
回転式塗布方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 英俊 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-188298
公開番号（公開出願番号）：特開平6-031241
出願日： 1992年07月15日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】基板の表面の凹部内にも塗布液を充填して塗布することができ、且つ液中の脱泡も容易に行うことができる回転式塗布方法を提供する。【構成】容器5内で基板2を基板支持部6を介してモータ7で回転して基板2の表面に塗布液3を塗布する。次に、容器5内を真空引きし、基板2とその塗布液3を真空引きした雰囲気中に置く。
請求項（抜粋）：
水平な基板の表面の中心に塗布液を置き、前記基板を回転させて該基板の表面に前記塗布液を遠心力を利用して塗布する回転式塗布方法において、前記基板の表面に前記塗布液を塗布しつつ或いは塗布した段階で、該基板とその塗布液を真空引きした雰囲気中に置くことを特徴とする回転式塗布方法。
IPC (3件)：
B05D 1/40
, H01L 21/027
, B05C 11/08
