特許
J-GLOBAL ID：200903009346978310
粘性材料の塗布装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-296445
公開番号（公開出願番号）：特開平8-153668
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】 装置全体の大型化を招くことなく、基板上への余剰材料の再付着を確実に阻止する。【構成】 チャック部2にて水平に保持した基板1上に粘性材料を滴下するとともに、チャック部2を高速で回転させて基板1上に薄膜を形成させる粘性材料の塗布装置であり、これはチャック部2に近設配置可能な気流制御カバー8を備えている。気流制御カバー8は、基板1の外周形状にならって斜め下方に延出したスカート部9を有するとともに、チャック部2の基板保持面に対してスカート部9を近接配置可能に支持されている。
請求項（抜粋）：
チャック部にて水平に保持した基板上に粘性材料を滴下するとともに、前記チャック部を高速で回転させて前記基板上に薄膜を形成させる粘性材料の塗布装置おいて、前記基板の外周形状にならって斜め下方に延出したスカート部を有するとともに、前記チャック部の基板保持面に対して前記スカート部を近接配置可能に支持された筒状の気流制御カバーを備えたことを特徴とする粘性材料の塗布装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/16 502
