特許
J-GLOBAL ID：200903009347589546
位置合わせ方法及びそれを用いた投影露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-171722
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343291
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 レチクルとウエハとの位置合わせを高速でしかも高精度に行うことができる位置合わせ方法及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【構成】 単色光で照明した、物体面上の格子状マークからの反射回折光を用いて撮像手段面上に干渉像を形成し、該撮像手段からの映像信号を2次元ウィンドウ内で2次元座標の1つの方向に積算して1次元の積算信号を得て、次いで該積算信号を直交変換により空間周波数領域に変換し、該空間周波数領域上で該積算信号より該格子状マークの周期性に基づく干渉像より固有に現われる空間周波数成分を選択し、該格子状マークの位置を検出することにより、該物体を所定位置に位置合わせをしたこと。
請求項（抜粋）：
物体上に設けた格子状マークを単色光で照明し、該格子状マークからの反射回折光のうち±n次光(n=1,2,3・・・)を用いて撮像手段面上に干渉像を形成し、該撮像手段で得られる映像信号に対して設けた所定の大きさの2次元ウィンドウ内で該撮像手段で得られた映像信号を2次元座標の1つの方向に積算して1次元投影積算信号を得て、次いで該1次元投影積算信号を直交変換により空間周波数領域に変換し、該空間周波数領域上で該1次元投影積算信号より該格子状マークの周期性に基づく干渉像より固有に現われる空間周波数成分を選択し、該格子状マークの位置を検出することにより、該物体を所定位置に位置合わせをしたことを特徴とする位置合わせ方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
