特許
J-GLOBAL ID:200903009353588195
真空容器
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-219510
公開番号(公開出願番号):特開平7-074399
出願日: 1993年09月03日
公開日(公表日): 1995年03月17日
要約:
【要約】【目的】不導体で、アウトガスおよびガス透過量の少ない真空容器を提供すること。【構成】上記目的を達成するために、強化繊維とエポキシプラスチックとの複合材料で真空容器を形成する。さらに、複合材料表面にSi02被覆膜を形成する。【効果】繊維強化プラスチックからのアウトガス量とガスの透過量を軽減できる。このため、真空容器内の圧力を高圧真空に維持できるので、外側容器に納められた寒剤容器の断熱効率が良くなる。
請求項(抜粋):
エポキシ樹脂と強化繊維との複合材で成形された真空容器において、前記容器の真空隔壁面上にSiO2膜を形成したことを特徴とする真空容器。
IPC (3件):
H01L 39/04 ZAA
, F25D 3/10
, H01F 6/04 ZAA
前のページに戻る