特許

J-GLOBAL ID：200903009359034248

フォーカシングサーボ機構

発明者： 赤池 武則 ,  小川 史洋
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-227109
公開番号（公開出願番号）：特開平7-084172
出願日： 1993年09月13日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】 フォーカス引き込み制御におけるダイナミックレンジを確保でき、かつ、オフセットを0にするための無駄時間をなくせるフォーカシングサーボ機構を提供する。【構成】 フォーカシングサーボ動作時は積分器として動作し、フォーカス引き込み制御時は一次遅れ要素として動作するように切り換えられる積分要素43を設け、フォーカス引き込み制御時はスイッチ46をオフしてコントローラ31Aとアクチュエータ15とを切り離したのち、アクチュエータ15および積分要素43にD/Aコンバータ36からの出力を変化させながら与える。フォーカシングサーボ動作時はスイッチ46をオンしてアクチュエータ15とコントローラ31Aとを接続するとともに、これらからD/Aコンバータ36を切り離す。

請求項（抜粋）：

光ビームを照射する対物レンズを含み、その対物レンズの焦点位置から測定面までのずれ量に応じた信号を出力する変位センサと、この変位センサにおける対物レンズの焦点位置が測定面に一致する方向へ変位センサを駆動させる駆動手段と、前記対物レンズの焦点位置から測定面までのずれ量が一定範囲内のサーボエリア内でのフォーカシングサーボ動作時は積分器として動作し、前記サーボエリア外でのフォーカス引き込み制御時は一次遅れ要素として動作する積分要素を含み、前記変位センサからの出力信号を基に対物レンズの焦点位置が測定面に一致するように駆動制御信号を前記駆動手段に与えるコントローラと、前記フォーカス引き込み制御時は前記駆動手段とコントローラとを切り離し、かつ、この状態における駆動手段およびコントローラの積分要素に駆動制御信号を変化させながら与える一方、前記フォーカシングサーボ動作時は前記駆動手段とコントローラとを互いに接続するとともに、これらから切り離されるフォーカス引き込み制御手段と、を具備したことを特徴とするフォーカシングサーボ機構。