静電チャックプレート用電源装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石島茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-269163
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100918
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】静電チャックプレートに適した電源装置を提供する。【解決手段】本発明の電源装置8は、電圧出力部20と、切替部30と、第1、第2の外部出力端子41、42とがこの順に接続されており、電圧出力部20に設けられた正電圧出力端子28と負電圧出力端子29と、第1、第2の外部出力端子41、42の間の接続を、切替部30によって切り換えられるように構成されている。従って、第1、第2の出力端子41、42からは、正電圧も負電圧も出力することができ、静電吸着を解除するときに、電極31、32に静電吸着時とは逆極性の電圧を印加することで、残留電荷を消滅させられるようになっている。基板着脱の際に流れる電流は、電源装置8によって測定され、コンピュータに出力されるので、コンピュータが着脱状態を自動的に判定することができる。また、コンピュータにより、電源装置8を設定することができる。

請求項（抜粋）：

電圧出力部と、切替部と、第1、第2の外部出力端子とがこの順に接続された電源装置であって、前記電圧出力部に設けられた正電圧出力端子と負電圧出力端子が、前記切替部を介して、前記第1の外部出力端子にも、前記第2の出力端子にも接続できるように構成されたことを特徴とする電源装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H02N 13/00

FI (2件)：

H01L 21/68 R , H02N 13/00 D

Fターム (19件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA12 , 5F031GA02 , 5F031HA17 , 5F031HA19 , 5F031HA33 , 5F031HA35 , 5F031HA37 , 5F031JA01 , 5F031JA45 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA31 , 5F031MA32 , 5F031NA05 , 5F031PA21

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-211753
電力供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-168990 出願人：神鋼電機株式会社
静電吸着装置の保持状態確認方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-001939 出願人：株式会社日立製作所

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