特許

J-GLOBAL ID：200903009368768840

配向膜の製造方法、製造装置及び測定装置

発明者： 山下 英彦
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 川口 義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-340592
公開番号（公開出願番号）：特開平6-186563
出願日： 1992年12月21日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】 液晶デバイス、液晶ライトバルブ用の配向膜を容易に製造し得る製造方法を提供することにあり、さらに製造方法に使用される製造装置及び基板角度の測定装置を提供することにある。【構成】 少なくとも電極(13a,13b) を有する2つの基板(11,12) と、配向膜(17a,17b) と、液晶(18)とを備えた液晶デバイスにおいて、少なくとも一方の基板(11)に電極(13a) を蒸着後、連続して同時にチャンバ内で基板角度を変え無機物を斜方蒸着することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも電極を有する2つの基板と、配向膜と、液晶とを備えた液晶デバイスにおいて、少なくとも一方の基板に電極を蒸着後、連続して同時にチャンバ内で基板角度を変え無機物を斜方蒸着することを特徴とする配向膜の製造方法。