特許
J-GLOBAL ID：200903009372434670
補償手段付き容量センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 道人 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-509756
公開番号（公開出願番号）：特表平9-503294
出願日： 1994年08月15日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：
【要約】圧力センサ(10)は2つのコンデンサ電極(114、116)間の容量を測定することによってっ圧力を測定する。圧力の変化は容量の変化として現われる。浮遊容量がこの測定の障害になる。浮遊容量はコンデンサ電極(114、116)とその回りの材料との間に発生する。回路(140)が、コンデンサ電極(114、116)および、その回りの浮遊容量の原因となる材料間に電位差を生じないようにすることによって浮遊容量を減少させる。
請求項（抜粋）：
第1および第2のコンデンサ電極を有し、両電極間の容量が被感知パラメータの関数として変化し、かつ各コンデンサ電極が前記第1および第2のコンデンサ電極の回りに配置されたガード電極に関して浮遊容量を持つような感知用可変コンデンサと、 基準電圧原と、 基準電圧に対して交互に変化する駆動電圧を、第1のコンデンサ電極に洪給する駆動回路と、 基準電位に接続されて基準電圧に実質的に等しい仮想の基準電圧を発生する感知回路と、 第2のコンデンサ電極に接続されて第2のコンデンサ電極を基準電位および仮想基準電位に交互に接続し、第2コンデンサ電極とガード電極との間に実質的な電位差が存在しないようにする切り替え回路とを具備した感知回路。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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