特許

J-GLOBAL ID：200903009373340190

テラヘルツ光装置及びこれの調整方法

発明者： 宇佐見 護
出願人/特許権者： 株式会社栃木ニコン ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-105395
公開番号（公開出願番号）：特開2002-303574
出願日： 2001年04月04日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】 テラヘルツ光学系のアライメントを正確かつ簡単に調整する。【解決手段】 テラヘルツ光学系は、テラヘルツ光発生器8及びテラヘルツ光検出器13、並びにそれらの間に配置されたビームスプリッタ11等を有する。回転機構26は、プローブ光を検出器13へ向かわせる第1の回転位置(図1に示す位置)、及び、プローブ光を発生器8へ向かわせる第2の回転位置(図1に示す位置から紙面に垂直な軸回りに90 ゚回転した位置)に、ビームスプリッタ11を回転させ得る。第1の回転位置の状態で、プローブ光が検出器13の適切な位置に集光するように、曲面鏡12及び検出器13のアライメントを調整する。第2の回転位置の状態で、プローブ光が発生器8のテラヘルツパルス光発生点に集光するように、曲面鏡9及び発生器8のアライメントを調整する。

請求項（抜粋）：

テラヘルツ光の発生部と、該発生部から発生して所定の光路を経て到達するテラヘルツ光を検出する検出部と、前記発生部と前記検出部との間の光路上に配置されたビームスプリッタと、を有するテラヘルツ光学系と、前記検出部によるテラヘルツ光の検出時に、前記ビームスプリッタを介して前記検出部にプローブ光を照射するプローブ光照射部と、前記ビームスプリッタを、前記プローブ光照射部からの前記プローブ光を前記検出部へ向かわせる第1の回転位置、及び、前記プローブ光照射部からの前記プローブ光を前記発生部へ向かわせる第2の回転位置に、回転させ得る回転機構と、を備えたことを特徴とするテラヘルツ光装置。

IPC (5件)：

G01N 21/35 ,  G01J 1/08 ,  G01J 3/02 ,  G02B 7/00 ,  G02F 1/35

FI (5件)：

G01N 21/35 Z ,  G01J 1/08 ,  G01J 3/02 Z ,  G02B 7/00 A ,  G02F 1/35

Fターム (65件)：

2G020AA03 ,  2G020BA17 ,  2G020BA20 ,  2G020CB27 ,  2G020CB42 ,  2G020CB54 ,  2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059EE01 ,  2G059EE05 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ24 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM03 ,  2G059MM08 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10 ,  2G059PP04 ,  2G065AB02 ,  2G065AB03 ,  2G065AB09 ,  2G065AB10 ,  2G065AB16 ,  2G065AB23 ,  2G065BA09 ,  2G065BB14 ,  2G065BB24 ,  2G065BB32 ,  2G065BB33 ,  2G065BB44 ,  2G065BB48 ,  2G065BC13 ,  2G065BC15 ,  2G065BC22 ,  2G065BC28 ,  2G065BC33 ,  2G065BC35 ,  2G065BD03 ,  2G065DA05 ,  2G065DA15 ,  2H043AA04 ,  2H043AA09 ,  2H043AA17 ,  2H043AA19 ,  2H043AA24 ,  2K002AA04 ,  2K002AB18 ,  2K002BA02 ,  2K002BA03 ,  2K002CA13 ,  2K002DA04 ,  2K002HA13