特許
J-GLOBAL ID：200903009376488066
研磨工具の評価方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-317187
公開番号（公開出願番号）：特開2003-117789
出願日： 2001年10月15日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：
【要約】【目的】 研磨工具自体の持つ平滑化能力を精密、且つ、合理的に評価検証することができる研磨工具の評価方法を提供すること。【構成】 1)空間周波数を選定し、2) 評価用の被加工物上にリップル面を形成し、3)リップル面の評価域の横断面形状を計測し、4) リップルを空間周波数解析し、横軸を空間周波数、縦軸をスペクトル強度とするチャートに示し、5) リップルの卓越周波数及びそのスペクトル強度を数値化、記録し、6)均等研磨を実施し、7) 均等研磨後のリップル面の評価域の横断面形状を計測し、8)均等研磨後のリップルを空間周波数解析し、横軸を空間周波数、縦軸をスペクトル強度とするチャートに示し、9) 均等研磨後のスペクトル強度を数値化し、10) 均等研磨によるリップルの減衰率を数値化し、11) 一連の空間周波数のリップルに対する減衰率を数値化し、12) 一連の空間周波数のリップルの減衰率を横軸に空間周波数、縦軸に減衰率とするチャートに示すことによって評価すべき研磨工具の「均等研磨時のリップルを平滑化する能力」を得る。
請求項（抜粋）：
1)空間周波数領域において数種類の空間周波数を選定し、2) 評価用の被加工物上に、選定した空間周波数のうちの1つを持つリップル面を形成し、3)前記形成したリップル面の評価域の横断面形状を計測し、4) 前記計測した横断面形状をFFT(高速フーリエ変換)処理することによってリップルを空間周波数解析し、横軸を空間周波数、縦軸をスペクトル強度とするチャートに示し、5) 前記チャートより、リップルの卓越周波数(スペクトル強度の極値を与える周波数)及びそのスペクトル強度を数値化、記録し、6)評価すべき研磨工具で事前の計測の済んだリップル面を所定の一定の深さとなるような均等な除去量の研磨(均等研磨)を実施し、7) 前記3)と同様に均等研磨後のリップル面の評価域の横断面形状を計測し、8) 前記4)と同様に均等研磨後のリップル横断面形状をFFT(高速フーリエ変換)処理することによって均等研磨後のリップルを空間周波数解析し、横軸を空間周波数、縦軸をスペクトル強度とするチャートに示し、9) 8) で得られたチャートについて、5)で数値化、記録された周波数のスペクトルピークの均等研磨後のスペクトル強度を数値化し、10) 前記5)と9)で得られた着目した周波数のスペクトルピークの均等研磨前後の強度から均等研磨によるリップルの減衰率を数値化し、11) 前記1)〜10)の手順を繰り返して初期に選定した一連の空間周波数のリップルに対する減衰率を数値化し、12) 前記11)で得られた初期に選定した一連の空間周波数のリップルの減衰率を横軸に空間周波数、縦軸に減衰率とするチャートに示すことによって評価すべき研磨工具の「均等研磨時のリップルを平滑化する能力」を得ることを特徴とする研磨工具の評価方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
3C034AA08
, 3C034AA13
, 3C034BB92
, 3C034CA09
, 3C049AA03
, 3C049AC02
, 3C049CB01
, 3C049CB10
