特許
J-GLOBAL ID：200903009377047837
結晶欠陥検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-236581
公開番号（公開出願番号）：特開平8-102478
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】 試料表面の結晶欠陥を簡便でしかも短時間に検出することができる結晶欠陥検出装置を提供する。【構成】 XYステージ5上に載置された試料10の表面に対して垂直方向からレーザー光を照射し,試料10の表面からの回折光を試料10表面の結晶方位により決定される結晶欠陥の存在方向に対して直交する方向と直交しない方向の複数方向から光検出器3a,3b,3cにより検出する。結晶欠陥が存在する部位では結晶欠陥に直交する方向からの回折光が強く検出され,結晶欠陥が存在しない場合には試料表面の塵などによる回折光が全ての方向にほぼ均等に検出される。各方向で検出された回折光検出の出力信号を演算処理することによって,レーザー光照射点からの回折光が結晶欠陥であるか否かを判定することができるので,試料表面をレーザー光で走査することにより,試料表面の結晶欠陥の存在を検出することができる。
請求項（抜粋）：
試料表面の結晶欠陥を非破壊で検出する結晶欠陥検出装置において,上記試料表面に対して垂直方向からレーザー光を照射して走査する投光走査手段と,上記レーザー光が照射された試料表面からの回折光を,試料表面の結晶方位により決定される結晶欠陥の存在方向に対して試料表面の垂直方向から見て直交する方向と直交しない方向の複数方向から検出する複数の回折光検出手段と,上記複数の回折光検出手段による検出信号を演算処理することにより結晶欠陥を検出する演算処理手段とを具備してなることを特徴とする結晶欠陥検出装置。
IPC (2件)：
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