特許

J-GLOBAL ID：200903009378263126

照明装置、およびそれを用いた露光装置、デバイス製造方法

発明者： 篠田 健一郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-173416
公開番号（公開出願番号）：特開2003-100622
出願日： 2002年05月10日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 反射型オプティカルインテグレータの長さを適正にすることで、小型で光利用効率の高い照明装置、およびそれを用いた露光装置、デバイス製造方法を提供する。【解決手段】 集光光学系と被照明領域の間に位置し、m角形(m:偶数)の断面形状において対向する複数対の反射面を構成すると共に、光束を対向する複数対の反射面間で反射させる反射型オプティカルインテグレータとを有し、前記反射面間の媒質の屈折率をn、前記複数対の反射面間の距離をφ、前記集光光学系から出射した光束が前記反射型オプティカルインテグレータに入射する際の発散角をθ、前記反射型インテグレータの断面形状に関連して定まる定数をC、自然数をAとすると、前記反射型オプティカルインテグレータの軸方向の長さLがR=φ/[tan{sin-1(sinθ/n)}]、C×(A-0.1)×R ≦ L ≦ C×(A+0.1)×Rを満足する照明装置。

請求項（抜粋）：

光源から出射した光束を用いて被照明領域を照明する照明装置であって、前記光源から出射した光束を集光する集光光学系と、前記集光光学系と前記被照明領域の間に位置し、m角形(m:偶数)の断面形状において対向する複数対の反射面を構成すると共に、前記光束を前記対向する複数対の反射面間で反射させる反射型オプティカルインテグレータとを有し、前記反射面間の媒質の屈折率をn、前記複数対の反射面間の距離をφ、前記集光光学系から出射した光束が前記反射型オプティカルインテグレータに入射する際の発散角をθ、前記反射型インテグレータの断面形状に関連して定まる定数をC、自然数をAとすると、前記反射型オプティカルインテグレータの軸方向の長さLが以下の式を満足する照明装置R=φ/[tan{sin-1 (sinθ/n)}]C×(A-0.1)×R ≦ L ≦ C×(A+0.1)×R。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (8件)：

2H052AC21 ,  2H052AC27 ,  2H052BA12 ,  5F046BA04 ,  5F046CB05 ,  5F046CB13 ,  5F046CB14 ,  5F046CB23