特許
J-GLOBAL ID:200903009397640917

回転角度測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 影井 俊次
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-218717
公開番号(公開出願番号):特開平6-042942
出願日: 1992年07月27日
公開日(公表日): 1994年02月18日
要約:
【要約】【目的】 エンコーダを用いず、極めて微小な回転角度を正確に測定できるようにする。【構成】 回転テーブル1の回転軸2は軸受部材3に回転自在に支承されており、ステッピングモータ等からなる回転駆動手段4により回転駆動されるようになっている。そして、この回転駆動手段4で駆動される回転テーブル1の制御を行うための回転角度測定機構としては、被検出回転体10と距離測定装置20とから構成され、被検出回転体10は回転方向に所定角度傾斜させた傾斜平面部11を一定の角度毎に所要箇所形成した平歯車形状の形状を有し、この傾斜平面部11には、鏡面仕上げされた反射板12が添設され、この半斜面12の位置をレーザ光による2光束干渉法を用いたレーザ測長器で構成された距離測定装置20で検出して、回転駆動手段4のコントローラ5に制御信号が入力される。
請求項(抜粋):
一定の角度毎に回転方向に所定角度傾斜させた傾斜平面部からなる被検出面を設けた被検出回転体と、この被検出回転体における被検出面に直交する方向に向けて配設した反射式の光学距離測定装置とから構成したことを特徴とする回転角度測定装置。

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