特許
J-GLOBAL ID：200903009398522551
圧力センサ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-002455
公開番号（公開出願番号）：特開平8-189869
出願日： 1995年01月11日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：
【要約】【目的】 ダイアフラム厚がばらついても、ピエゾ抵抗部はそれぞれ絶対値が同じ伸び応力と縮み応力を受けるようにし、ブリッジの出力のばらつきを物理的に最低限に抑えることができる圧力センサ及びその製造方法を提供する。【構成】 シリコンを薄く加工したシリコンダイアフラム上にピエゾ抵抗部を有する圧力センサにおいて、シリコンダイアフラム24の両面に、そのシリコンダイアフラム24の面に対して面対称に、ピエゾ抵抗部31,32を形成し、その両面に設けられたピエゾ抵抗部31,32が電気的に接続されるようにしたものである。
請求項（抜粋）：
シリコンを薄く加工したシリコンダイアフラム上にピエゾ抵抗部を有する圧力センサにおいて、シリコンダイアフラムの両面に該シリコンダイアフラム面に対して面対称になっているピエゾ抵抗部を形成し、その両面に設けられたピエゾ抵抗部が電気的に接続されていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
