特許

J-GLOBAL ID：200903009415384192

レジストシミュレータ

発明者： 山田 篤志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-268177
公開番号（公開出願番号）：特開2003-076034
出願日： 2001年09月05日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】 化学増幅型レジストにおいて、実質的に精度を落とさず、少ない計算機メモリを使用して短時間で解を得る方法を提供する。【解決手段】 化学増幅型レジストのPEB過程を通して得られる等価蓄積エネルギー分布を以下の(1)式を解くことにより計算し、この等価蓄積エネルギーと化学増幅型レジストの現像レートとの関係に基づいて、現像レートを推定する機能を有することを特徴とするレジストシミュレータ。【数1】ここで、E(t,r)はPEBをt秒施した後の等価蓄積エネルギー分布、D、Kはそれぞれ酸の拡散・消滅係数を表し、rはレジスト中の位置を表すベクトルである。

請求項（抜粋）：

レジスト内の蓄積エネルギー量を現像レートに変換する過程を含むレジストシミュレータであって、化学増幅型レジストのPEB過程を通して得られる等価蓄積エネルギー分布を以下の(1)式を解くことにより計算し、この等価蓄積エネルギーを用いて現像レートを推定する機能を有することを特徴とするレジストシミュレータ。【数1】ここで、E(t,r)はPEBをt秒施した後の等価蓄積エネルギー分布、D、Kはそれぞれ酸の拡散・消滅係数を表し、rはレジスト中の位置を表すベクトルである。

IPC (5件)：

G03F 7/30 ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/26 501 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/30 ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/26 501 ,  H01L 21/30 569 Z

Fターム (27件)：

2H025AB16 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC07 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA14 ,  2H096AA25 ,  2H096BA01 ,  2H096BA09 ,  2H096BA11 ,  2H096BA20 ,  2H096EA06 ,  2H096EA07 ,  2H096FA01 ,  2H096GA01 ,  2H096LA16 ,  5F046AA28 ,  5F046DA02 ,  5F046LA18 ,  5F046LA19