特許

J-GLOBAL ID：200903009419083820

光アイソレータの作製方法

発明者： 橋間 学
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-269734
公開番号（公開出願番号）：特開平7-104215
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】 メタル接合光アイソレータの特性・品質の劣化、更には生産性の低下を招いている問題を解決し、信頼性の高い光アイソレータを効率良く作製する方法を提供する。【構成】 ホルダと金属接合する光学素子の表面に、スパッタリング法等の手段によって、予め下地層として第一層にCr膜、第二層にNi膜又はCo膜を、更に第三層に半田成分としてのAu-Sn合金膜を順次形成する。

請求項（抜粋）：

各構成部品を半田付けによって固定するメタル接合光アイソレータの作製方法において、支持材とメタル接合する光学素子の表面に、物理的蒸着法により、順次Cr膜、Ni膜、およびAu-Sn合金膜を形成して光学素子と支持材を接合することを特徴とする光アイソレータの作製方法。