特許
J-GLOBAL ID：200903009420070511
ボンディング用Auワイヤのインゴットの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早川 政名
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-157266
公開番号（公開出願番号）：特開平7-011356
出願日： 1993年06月28日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：
【要約】【目的】溶湯を得てから鋳造までの間により確実な攪拌及び不純物の除去を行うようにして、99.99%のAuを用いながら、伸線加工時における断線不良や作製されたワイヤの機械的特性のばらつきを低減できるインゴットの製造方法を提供する。【構成】99.99%以上のAuを真空若しくは不活性ガスの減圧雰囲気中にて溶解した後、そこに所望量の添加元素を添加する。これにより得られた溶湯a’を攪拌した後、鋳造温度で所定時間静置して溶湯a’表面に浮上する不純物を除去する。除去後の溶湯a’から分析用試料を採取し定量分析を行う。分析結果から算出されたAu若しくは添加元素の不足分を添加する。これにより得られた溶湯a’を再度攪拌し、その後、鋳造温度で再度静置して溶湯a’表面に浮上する不純物を除去する。除去後の溶湯からインゴットaを鋳造する。
請求項（抜粋）：
99.99%以上のAuを真空若しくは不活性ガスの減圧雰囲気中にて溶解しこれに所望量の添加元素を添加するか、これと同じ組成のAu合金を真空若しくは不活性ガスの減圧雰囲気中にて溶解する第1工程、これにより得られた溶湯を攪拌する第2工程、攪拌後の溶湯を鋳造温度で所定時間静置して溶湯表面に浮上する不純物を除去する第3工程、除去後の溶湯からインゴットを鋳造する第4工程からなることを特徴とするボンディング用Auワイヤのインゴットの製造方法。
IPC (3件)：
C22C 1/02 503
, C22B 9/00
, H01L 21/60 301
