特許
J-GLOBAL ID:200903009421337341
屈折率分布測定方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
篠原 泰司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-295875
公開番号(公開出願番号):特開平5-133838
出願日: 1991年11月12日
公開日(公表日): 1993年05月28日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 レンズ形状に加工された屈折率分布型光学素子の屈折率分布を高精度に測定できる測定方法を提案する。【構成】 レンズ形状に加工された屈折率分布を有する測定試料5の測定面に、測定試料5より屈折率の大きい媒質部材4を接触し、所定波長の電磁波を収束光3として媒質部材4を介して測定面上の測定位置に照射し、測定面の全反射による反射光7の明暗境界を検出して測定位置での全反射臨界角を検出し、これによりこの位置での屈折率を測定する。更に収束光に対して測定面の曲率半径の中心位置を中心として、測定試料5を相対的に回転走査させて上記測定処理を繰り返し、測定試料5の屈折率分布形状を測定する。
請求項(抜粋):
レンズ形状に加工された屈折率分布を有する測定試料の測定面に、該測定試料より屈折率の大きい媒質部材を接触し、所定波長の電磁波を収束光として上記媒質部材を介して上記測定面上の測定位置に照射し、上記測定面の全反射による反射光の明暗境界を検出して上記測定位置での全反射臨界角を求め、これにより該位置での屈折率を測定し、更に上記収束光に対して上記測定面の曲率半径の中心位置を中心として上記測定試料を相対的に回転走査させて上記処理を繰り返すことにより、上記測定試料の屈折率分布を求めるようにした屈折率分布測定方法。
IPC (2件):
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