特許

J-GLOBAL ID：200903009424197958

薄膜磁気ヘッドの製造装置及びその製造方法

発明者： 山内 智仁 ,  小田 憲男 ,  岡崎 真
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-287881
公開番号（公開出願番号）：特開平10-134318
出願日： 1996年10月30日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 スライダー加工において、加工歪みによる変形を抑え、且つ、加工バラツキを抑えることを課題とする。【解決手段】 この目的を達成するために本発明の薄膜磁気ヘッド装置の製造装置は、3本のスピンドル3、6、9を持ち、スピンドル3はウエハー切断用の砥石が設置され、スピンドル6は研削用の砥石が設置され、スピンドル9は研磨用の定盤が設置され、前記スピンドル3、6、9が互いに平行の位置関係に配置され、各々のスピンドルがスピンドルのスラスト方向に移動可能なステージ5、8、11に固定され、更にスピンドルのスラスト方向と直角方向に移動可能なステージが配置され、前記スラスト方向と直角方向に移動可能なステージ12に前記薄膜磁気ヘッド素子15が形成されたウエハー1が同等の熱膨張係数を持った支持セラミック2に接着剤を介して固定された複合体を固定する機構を有する。

請求項（抜粋）：

磁気記録媒体と対向する面が同一面に位置するように複数の磁気ヘッド素子が配列された磁気ヘッド素子列が、前記面が互いに並行するように複数列形成されたウエハーより、前記各磁気ヘッド素子列を切り出す薄膜磁気ヘッドの製造装置において、少なくとも3本以上のスピンドルを持ち、その内、1つはウエハー切断用の砥石が設置され、1つは研削用の砥石が設置され、1つは研磨用の定盤が設置され、前記少なくとも3本以上のスピンドルが互いに平行の位置関係に配置され、各々のスピンドルがスピンドルのスラスト方向に移動可能なステージに固定され、更にスピンドルのスラスト方向と直角方向に移動可能なステージが配置され、前記スラスト方向と直角方向に移動可能なステージに前記薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウエハーが同等の熱膨張係数を持った支持セラミックに接着剤を介して固定された複合体を固定する機構を有する製造装置。