特許
J-GLOBAL ID：200903009427697536
高純度ガス精製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-193599
公開番号（公開出願番号）：特開平6-031104
出願日： 1992年07月21日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】 全不純物濃度が1ppb以下の高純度ガスを得る事ができ、かつ小規模な設備で実施可能な、高純度ガス精製方法を提供することを目的とする。【構成】 水素ガスを高純度化する際、先ず、水の蒸気圧が10-12 Pa以下になる温度に保たれた第1の不純物ガストラップ部に混合ガスを流して蒸気圧が1012Pa以下になるまで水を除去した後、第2の不純物ガストラップ部で他の不純物ガスを除去する事を特徴とする。
請求項（抜粋）：
主となるガス及び前記主となるガスより高い沸点を有する水を含む複数の不純物ガスからなる混合ガスを前記主となるガスと前記不純物ガスとに分離するに際し、水の蒸気圧が10-12 Pa以下になる温度に保たれた第1の不純物ガストラップ部に前記混合ガスを流し水を前記第1の不純物ガストラップ部によって10-12 Pa以下になるように除去する工程と、次に、前記第1の不純物ガストラップ部よりも温度が低く且つ前記主となるガスの蒸気圧(Ps)と前記不純物ガスの蒸気圧(Pi)の比(Ps/Pi)が所定の値以上になるような温度に保たれた第2の不純物ガストラップ部に、水が除去された前記混合ガスを流し前記不純物ガスを除去する工程とを具備する事を特徴とする高純度ガス精製方法。
IPC (2件)：
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