特許

J-GLOBAL ID：200903009430111801

クリーンルームにおける搬入装置および搬入方法

発明者： 堀 浩一郎
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-332195
公開番号（公開出願番号）：特開2000-159459
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】 クリーンルームの気流の乱れを低減して、被搬入物を搬入することができるクリーンルームにおける搬入装置を得ることを目的とする。【解決手段】 垂直層流式の気流11aにより清浄度が保たれているクリーンルーム10と、クリーンルーム10の下層階にあり、垂直層流の気流11aが上方から導入されるユーティリティルーム14とを備えたクリーンルームにおける搬入装置において、クリーンルーム10の気流11aが通過可能な昇降床17を有し、昇降床17をクリーンルーム10の第1の床面13上およびユーティリティルーム14の第2の床面15上間を移動させる移動手段16を備えたものである。

請求項（抜粋）：

垂直層流式の気流により清浄度が保たれているクリーンルームと、上記クリーンルームの下層階にあり、上記垂直層流の気流が上方から導入されるユーティリティルームとを備えたクリーンルームにおける搬入装置において、上記クリーンルームの気流が通過可能な昇降床を有し、上記昇降床を上記クリーンルームの床面上および上記ユーティリティルームの床面上間を移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするクリーンルームにおける搬入装置。

IPC (2件)：

B66B 9/00 ,  F24F 7/06

FI (2件)：

B66B 9/00 D ,  F24F 7/06 C

Fターム (6件)：

3F301AA05 ,  3F301BB16 ,  3L058BF01 ,  3L058BF07 ,  3L058BF08 ,  3L058BF09