特許

J-GLOBAL ID：200903009446443014

高均質な光学用石英ガラス成形体の製造方法

発明者： クリスティアン ゲバウァ ,  藤ノ木 朗 ,  片岡 正篤
出願人/特許権者： ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ,  信越石英株式会社
代理人 (1件)： 武田 正彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-169147
公開番号（公開出願番号）：特開平8-333125
出願日： 1995年05月31日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 エキシマレーザー用の高品質な光学用石英ガラス成型体の製造方法を提供する。【構成】 断面円形の石英ガラス棒1をチャック4,5に把持させて、チャック4,5を同期回転させながらバーナー6で加熱し溶融体12を形成した後チャック4,5の回転を夫々独立に制御して溶融体12に剪断応力を発生させ、その境界領域13における合成石英ガラの混合によりガラス棒1の脈理2の除去および均質化が行われる。この均質化が行われた後ガラス棒1を加熱・軟化させながらチャック4,5の回転数をかえながらチャック4,5の間隔を狭めてガラス棒1を押圧してガラス棒1の径を増大して太くし予備成形体18を造る。予備成形体18をグラファイ成形型に入れ電気炉に入れて加熱し成形体を得る。

請求項（抜粋）：

不均質なロッド状石英ガラスの一部を加熱して溶融帯域を形成し、この溶融帯域が形成されたロッド状石英ガラスの両端部を異なる態様で回転させて回転軸方向に交差する面内を均質にし、この回転軸方向に交差する面内が均質にされたロッド状石英ガラスの一部を加熱して溶融帯域を形成し、この溶融帯域が形成されたロッド状石英ガラスの両端部を同じ回転方向で回転数を違えて回転させながら、該ロッド状石英ガラスの両端部の少なくとも一方の端部に、その回転の中心軸方向に押圧力を加えて、溶融帯域を介して、該ロッド状石英ガラスの長さを縮め、この長さが縮められたロッド状石英ガラスを、その両端部を上下方向に向けて、耐熱性の箱型の型内に配置して、加熱下に成形することにより、該成形時の水平方向に透過する光に現れる単位面積当たりの脈理の数が成形時の上下方向に透過する光に現れる脈理の数に比べて多い石英ガラス成形体を形成することを特徴とする高均質な光学用石英ガラス成形体の製造方法。

IPC (3件)：

C03B 20/00 ,  C03B 11/00 ,  C03B 19/02

FI (3件)：

C03B 20/00 ,  C03B 11/00 B ,  C03B 19/02 A