特許

J-GLOBAL ID：200903009446617586

チャック装置およびチャック方法

発明者： 北橋 正光 ,  山本 博昭 ,  石井 明洋
出願人/特許権者： コマツ電子金属株式会社 ,  株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 田中 秀晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-002359
公開番号（公開出願番号）：特開2003-205455
出願日： 2002年01月09日
公開日（公表日）： 2003年07月22日
要約：

【要約】【課題】 被加工物の上面(基準面)を吸引する吸着面の表面性状が被加工物に転写されにくい真空チャック装置を提供する。【解決手段】 研磨装置は、ウェーハ10を吸引固定する研磨ヘッド2と、ウェーハ10の研磨を行う研磨クロス5と、ウェーハ10と研磨クロス5を接触させた状態で相対的に移動させる機構を備える。研磨ヘッド2のウェーハ10に接触する部分にポーラスシート20を設ける。ポーラスシート20は、弾性率が5.0×10-4〜450GPaで厚さが5〜40μmであり、通気性を有する。特に、ポーラスシートは、5〜200μmの粒径を有する粒子を結合させて形成する。ポーラスシート20を設けることにより、加工中にウェーハ10のチャック接触面にダメージ(傷)が入るのを防止することができる。

請求項（抜粋）：

被加工物を吸引固定する支持機構と、前記被加工物の加工を行う加工具と、前記被加工物と前記加工具を接触させた状態で相対的に移動させる手段と、を備えた加工機械において、前記支持機構の前記被加工物に接触する部位が、弾性率が5.0×10-4〜450GPaで、厚さが5〜40μmであり、通気性を有する部材よりなることを特徴とする加工機械。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 H ,  H01L 21/304 622 H

Fターム (3件)：

3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058DA17