特許
J-GLOBAL ID：200903009448768751
多孔質ケイ素酸化物膜の製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-313668
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158012
出願日： 1996年11月25日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】 巨大粒子の生成などのない良質な多孔質ケイ素酸化物膜を簡便かつ速やかに製造する方法を提供する。【解決手段】 アルコキシシランとアミド結合を含有する有機ポリマーを溶媒に溶解し、酸を添加して部分的に加水分解した後、塩基触媒を添加して膜状に基板上に塗布し加水分解、脱水縮合を行った後、溶媒を蒸発させて得られた乾燥ゲルから有機ポリマーを除去する。
請求項（抜粋）：
アルコキシシランと、アミド結合を含有する有機ポリマーを溶媒に溶解し、酸を添加して部分的に加水分解した後、塩基触媒を添加して基板上に膜状に塗布し加水分解、脱水縮合を行い、その後に溶媒を蒸発させて得られた乾燥ゲルから有機ポリマーを除去することを特徴とする多孔質ケイ素酸化物膜の製造法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 33/12 D
, C04B 38/06 G
