特許
J-GLOBAL ID：200903009449688344
ミラー付きキャリアと基板の検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-239885
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064990
出願日： 1996年08月21日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 最近出現した基板を搬入出する側面以外の側面がすべて閉塞されている箱形状のキャリアについても基板の検出を行うことができる手段を提供する。【解決手段】 複数の基板Sを平行に並べた状態で収納し、少なくとも一つの側面C1を介して基板Sを搬入出できるように構成されたキャリアCにおいて、基板Sを搬入出する側面C1と異なる側面C2の内側にミラー25を配置したことを特徴とする。このキャリアCは、基板Sを搬入出させる側面C1以外の側面C2〜C6がすべて閉塞されていても良い。
請求項（抜粋）：
複数の基板を平行に並べた状態で収納し、少なくとも一つの側面を介して基板を搬入出できるように構成されたキャリアにおいて、前記基板を搬入出する側面と異なる側面の内側にミラーを配置したことを特徴とするミラー付きキャリア。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
