特許
J-GLOBAL ID：200903009464022093
被膜のエッチング・剥離装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-224975
公開番号（公開出願番号）：特開平8-088204
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】基板搬送ローラのOリングの交換頻度を少なくして、レジスト剥離の処理効率を向上させるとともに装置のメンテナンス費を軽減することができ、しかも前記基板の搬送を確実に行なうことができるレジスト剥離装置を提供する。【構成】基板Aをレジスト剥離液10に浸漬させた状態で搬送しながら基板A上のレジストマスクをレジスト剥離液10により剥離するレジスト剥離装置において、前記基板Aに摩擦接触してこの基板Aを確実に搬送するためのOリング12aを上搬送ローラ12だけに備えさせ、かつ、この上搬送ローラ12を、下搬送ローラよりも大径にした。
請求項（抜粋）：
基板を薬液中に浸漬させた状態で搬送しながら前記基板上の被膜を前記薬液によりエッチングまたは剥離する装置であって、前記薬液中に配置されて前記基板の下面に転接する下搬送ローラと、下部を前記薬液中に浸漬させた状態で配置されて前記基板の上面に転接する上搬送ローラとを備え、かつ、前記下搬送ローラは、前記薬液に対する耐食性をもっており、前記上搬送ローラは、前記下搬送ローラよりも大径であるローラ本体と、このローラ本体の外周に設けられて前記基板に対し摩擦接触するOリングとからなっていることを特徴とする被膜のエッチング・剥離装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/027
, H01L 21/68
