ガスレーザ発振装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：則近憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-234006
公開番号（公開出願番号）：特開平6-085350
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：

【要約】【目的】レーザガスの流速および濃度を安定にして、安定なレーザビームを得ることが可能なガスレーザ発振装置を提供する。【構成】放電電極(7a,7b)近傍の壁面にレーザガスの流れ方向に沿って複数個の空洞部を設ける。

請求項（抜粋）：

レーザガスが封入されたガスレーザ本体と、このガスレーザ本体内部にレーザガスを循環させる送風手段と、循環されるレーザガスを冷却する冷却手段と、前記レーザガスの循環流路に設けられ且つ放電が行われる部分を残して基盤に埋設された陽極と陰極とからなる一対の放電電極と、該放電電極へのレーザガス流入口の直前に設けられた縮流路と、前記放電電極からのレーザガス流出口に設けられた拡大路を有する放電部とを具備したガスレーザ発振器において、放電電極近傍の壁面にレーザガスの流れ方向に沿って複数個の空洞部を設けたことを特徴とするガスレーザ発振装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-076178
特開平3-278488
特開平4-129283

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