特許
J-GLOBAL ID:200903009470882312

粉体散布装置及び散布方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 本多 小平 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-166258
公開番号(公開出願番号):特開平6-003679
出願日: 1992年06月24日
公開日(公表日): 1994年01月14日
要約:
【要約】【目的】 液晶を用いた電気光学素子の基板にスペーサとしての粉体が、均一に分散散布できる小型の粉体散布装置を提供する。【構成】 基板上面に対し上方から微粒粉体を散布する散布ノズルと、この散布ノズルをその延長線が基板上でジグザグ状の走査軌跡を描くように首振りさせるノズル首振り装置とを設ける。
請求項(抜粋):
基板上面に対し上方から微粒粉体を散布する散布ノズルと、この散布ノズルと上記基板を水平2軸のx,y各方向に相対移動させる移動機構とを備えた粉体散布装置であって、この移動機構は、上記散布ノズルの延長線が基板上にジグザグ状の走査軌跡を描くように該散布ノズルと基板の少なくともいずれか一方を移動させる手段からなることを特徴とする粉体散布装置。
IPC (2件):
G02F 1/1339 500 ,  G02F 1/13 101
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平3-196884
  • 特開昭56-027113
  • 特開昭57-058124
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