特許

J-GLOBAL ID：200903009472366001

ハンドリング治具

発明者： 高橋 伊生
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-132693
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335733
出願日： 1994年06月15日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 ハンドリング治具に係り、特に半導体装置の製造工程において用いるハンドリング治具の改良に関し、大きさの異なる被ハンドリング物を、簡単且つ確実に支持することが可能となるハンドリング治具の提供を目的とする。【構成】 一端にそれぞれ第1及び第2の操作部1a,2a を有し、他端にそれぞれ第1及び第2の支持部3,4を備え、この操作部1a,2a の近傍にそれぞれ支点孔1b,2b を有し、この支点孔1b,2b に嵌合するピン5により結合された一対のアーム1,2と、このアーム1,2のこの支点孔1b,2b の近傍に設けられた孔1c,2cに嵌合するピン6,7と、このピン6,7と嵌合する孔をそれぞれ一端に有し、それぞれの他端の孔に嵌合するピン8を共有する一対のリンク9,10と、このピン8と嵌合させて設けた第3の支持部11とからなり、この第1の支持部3と第2の支持部4と第3の支持部11により被ハンドリング物を支持するように構成する。

請求項（抜粋）：

一端にそれぞれ第1及び第2の操作部(1a,2a) を有し、他端にそれぞれ第1及び第2の支持部(3,4) を備え、前記操作部(1a,2a) の近傍にそれぞれ支点孔(1b,2b) を有し、該支点孔(1b,2b) に嵌合するピン(5) により結合された一対のアーム(1,2) と、前記アーム(1,2) の前記支点孔(1b,2b) の近傍に設けられた孔(1c,2c) に嵌合するピン(6,7) と、該ピン(6,7) と嵌合する孔をそれぞれ一端に有し、それぞれの他端の孔に嵌合するピン(8) を共有する一対のリンク(9,10)と、前記ピン(8) と嵌合させて設けた第3の支持部(11)と、からなり、前記第1の支持部(3) と第2の支持部(4) と第3の支持部(11)により被ハンドリング物を支持することを特徴とするハンドリング治具。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/08 ,  B65G 7/12