特許

J-GLOBAL ID：200903009476921000

欠陥検査方法およびその装置

発明者： 宍戸 弘明 ,  吉武 康裕 ,  下田 篤 ,  宍戸 千絵
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-181056
公開番号（公開出願番号）：特開2000-081324
出願日： 1999年06月28日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：

【要約】【課題】一旦欠陥候補を検出した後、この検出した欠陥候補を詳しく観察する時に、欠陥候補を容易に観察視野内に設定できる欠陥検査方法及びその装置を提供する。【解決手段】欠陥検出時に、検出した欠陥の座標を基板平面内で記録するのに加え、検出した高さ方向の位置も同時に記録することにより、欠陥検出位置を基板平面内だけでなく、高さ方向に対しても再現する。

請求項（抜粋）：

試料の欠陥を検査する方法であって、試料を撮像して該試料の画像を得、該試料の画像から該試料の欠陥を検出し、該検出した欠陥の3次元座標に関する情報を記憶し、該記憶した欠陥の3次元座標に関する情報に基づいて前記検出した欠陥を観察視野内に位置させて該欠陥を観察することを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (4件)：

G01B 11/30 ,  G01B 11/00 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01B 11/30 A ,  G01B 11/00 H ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 Z ,  G01N 21/88 645 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 撮像式検査方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-072013   出願人：積水化学工業株式会社
• 特開平3-018708
  
• 三次元形状解析システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-038027   出願人：三村建治
• 特開平3-018708