特許

J-GLOBAL ID：200903009477439155

被測定体内異物の測定装置

発明者： 岡本 幸治 ,  栗田 栄二 ,  吉村 千治
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社 ,  東芝エンジニアリング株式会社 ,  シシド静電気株式会社
代理人 (1件)： 稲垣 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-250243
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094751
出願日： 1997年09月16日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】 除塵効果を向上させ、被測定体内の異物測定に際し、誤測定が生じないような、被測定体内異物の測定装置を提供する。【解決手段】 本装置10は、光透過性の板状成形物からなる被測定体内異物を測定する装置であって、被測定体Sを除塵する除塵装置12と、被測定体内の異物の数を計数し、異物の大きさを計測する画像処理装置14とを備えている。除塵装置は、被測定体を収容するチャンバ24と、チャンバ内に設けられ、被測定体の縁部を把持する把持具と、チャンバ内に除電空気を送入するために、チャンバの被測定体搬入口及び搬出口に設けられた複数本の空気送入ノズル26と、チャンバ内に設けられ、把持具に把持された被測定体の上面及び下面と接触しつつ回転して被測定体に付着した塵をブラシで除去する2個の回転ブラシ28A、Bと、チャンバから空気を吸引するエアー吸引装置とを備えている。

請求項（抜粋）：

光透過性の板状成形物からなる被測定体内の異物を測定する装置であって、除電された空気により被測定体を除電しつつ、被測定体に付着したパーティクルを空気流及び機械的接触により除塵する除塵装置と、被測定体内の異物を光学的に撮像し、得た画像を画像処理して異物を測定する画像処理装置とを備えていることを特徴とする被測定体内異物の測定装置。