特許
J-GLOBAL ID：200903009480409461
被処理材の固定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-012927
公開番号（公開出願番号）：特開平8-203988
出願日： 1995年01月30日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】サイズの異なる複数種の被処理材が固定可能で、しかも、ペリクル付の被処理材でも問題はなく固定できる被処理材の固定装置を提供する。【構成】処理ステージ1上に互いに対向して設けられた固定部材10及び可動部材12に、サイズの異なる複数の被処理材6の一端側及び他端側の両隅部が載る間隔に複数のクランプ基準片部40A,40B,40Cを階段状に形成してなるそれぞれ一対の第1のクランプ部材14A,14B及び第2のクランプ部材16A,16Bを設けると共に、前記第1のクランプ部材14A,14Bと第2のクランプ部材16A,16Bとの間隔が複数の被処理材6のサイズに合った間隔となるように可動部材10を可動部材移動機構18により移動させ得る構成とし、サイズの異なる複数種の被処理材6をそれぞれ専用のクランプ基準片部40A,40B,40Cを利用して、その4隅近傍を固定できるようにした。
請求項（抜粋）：
被処理材を処理ステージ上に固定する被処理材の固定装置であって、前記処理ステージ上に互いに対向して設けられた固定部材及び可動部材と、前記固定部材に設けられ、かつ、サイズの異なる複数の被処理材の一端側の両隅部が載る間隔に複数のクランプ基準片部を階段状に形成してなる一対の第1のクランプ部材と、前記可動部材に設けられ、かつ、サイズの異なる複数の被処理材の他端側の両隅部が載る間隔に複数のクランプ基準片部を階段状に形成してなる一対の第2のクランプ部材と、前記第1のクランプ部材と第2のクランプ部材との間隔が複数の被処理材のサイズに合った間隔となるように前記可動部材を移動させるための可動部材移動機構と、を具備してなることを特徴とする被処理材の固定装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
, B23Q 3/06 301
H01L 21/30 502 V
, H01L 21/30 503 D
