特許
J-GLOBAL ID：200903009484213820
自動位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-201628
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045896
出願日： 1991年08月12日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：
【要約】【目的】 画像処理システムにおける自動位置決め装置において、理想座標系におけるターゲットマーク座標を使って、高速かつ確実なターゲット位置決めを行う。【構成】 グローバルアライメント用の対物レンズ5aとターゲットアライメント用の対物レンズ5bとが制御装置1からの指令により切り替えられる。対物レンズ(5aもしくは5b)からの光はビームスプリッタ5で分割され、低倍画像取得装置7及び高倍画像取得装置8に入る。制御装置1は、ステージ2の精度内で試料3のターゲットマークが取得画像内に入るよう対物レンズ5aを光路に入れた後、グローバルアライメントを行う。その後、対物レンズ5bを光路に入れて低倍画像取得装置7、高倍画像取得装置8を電気的に切り替えることにより、順次ターゲットアライメントを行う。
請求項（抜粋）：
第1の画像倍率の画像信号により、試料座標系の回転量を補正するためのグローバルアライメントと、前記グローバルアライメントの結果に基づき、前記第1の画像倍率より高倍率の画像信号により、ターゲットマークを位置決めするためのターゲットアライメントと、により試料の位置決めを行う自動位置決め装置において、前記グローバルアライメント用の第1対物レンズと、前記ターゲットアライメント用の前記第1対物レンズより高倍の第2対物レンズと、前記第1対物レンズと前記第2対物レンズとを選択的に測定光路に挿入する対物レンズ切替装置と、前記測定光路中に配設され、前記第1対物レンズもしくは前記第2対物レンズの後方で光路を2分割する光路分割手段と、前記光路分割手段で分割された一方の光路中に配設された縮小レンズと、前記縮小レンズの後方に配設された第1撮像装置と、前記光路分割手段で分割された他方の光路中に配設された第2撮像装置と、前記第1撮像装置と前記第2撮像装置の出力する映像信号を選択的に出力するスイッチ装置と、前記グローバルアライメントを行うときは、対物レンズ切替装置により前記第1対物レンズを光路中に挿入すると共に、前記スイッチ装置により前記第1撮像装置の出力する映像信号を選択し、前記ターゲットアライメントを行うときは、対物レンズ切替装置により前記第2対物レンズを光路中に挿入すると共に、前記スイッチ装置により初めに前記第1撮像装置の出力した映像信号を選択してアライメントを行った後、前記スイッチ装置により前記第2撮像装置の出力した映像信号を選択してアライメントを行う制御装置と、を設けたことを特徴とする位置決め装置。
IPC (3件)：
G03F 9/00
, H01L 21/027
, H01L 21/68
