特許
J-GLOBAL ID:200903009485829299

圧電体制御装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 進
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-132742
公開番号(公開出願番号):特開平5-327052
出願日: 1992年05月25日
公開日(公表日): 1993年12月10日
要約:
【要約】【目的】圧電体の変形量および変形速度の微細な制御を圧電体の等価容量に注目することによって精度良く制御する圧電体制御装置を提供することを目的とする。【構成】圧電体4における等価容量を該圧電体4に印加される電圧と対応させて表わされる、等価容量-電圧関係等の情報を記憶するための情報記憶部1と、該情報記憶部1から読み出した、圧電体4の等価容量のデータに基づき該圧電体4に注入する、あるいは放出させる電荷量を演算させるための電荷量演算手段2と、該電荷量演算手段2からの制御信号に基づいて、上記圧電体4に電流を注入、あるいは放出させるための電荷量制御回路3と、該電荷量制御回路3から出力される電流により速度制御される圧電体4とを具備する。
請求項(抜粋):
印加電圧に応じて変化する、圧電体が有するコンデンサ容量に基づいて、該圧電体に注入する、あるいは該圧電体より放出させる電荷量を演算する電荷量演算手段と、この電荷量演算手段に基づいて上記圧電体に電荷を注入する、あるいは該圧電体より放出させる電荷量制御回路と、を具備したことを特徴とする圧電体制御装置。
IPC (2件):
H01L 41/09 ,  H02N 2/00

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