特許

J-GLOBAL ID：200903009489141917

赤外線ガス分析システム

発明者： 佐竹 司
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 山村 喜信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-288036
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108831
出願日： 1997年10月02日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 パージを確実に行って分析精度の低下を防止すると共に、パージ時間をできるだけ短くし得る赤外線ガス分析システムを提供する。【解決手段】 パージ中に測定セルを流れるガスの濃度を分析し、該濃度と所定の閾値SH1に基づいてパージが完了したか否かを判別し、パージが完了した場合には、パージラインを閉止すると共に、所定のサンプルガス供給路を開放する。

請求項（抜粋）：

サンプルガスを測定セルに供給する複数のサンプルガス供給路、測定セル中のサンプルガスに赤外線を照射して該赤外光の吸光度に基づいてサンプルガス中の測定対象成分の濃度を分析する分析部、前記複数のサンプルガス供給路に各々設けた第1開閉弁と測定セルとの間の複数のサンプルガス供給路に合流してパージ用のガスを供給するパージライン、前記パージラインに設けた第2開閉弁、前記第1および第2開閉弁を開閉して、サンプルガスの供給および濃度測定とパージとを順次繰り返す赤外線ガス分析システムにおいて、前記パージ中に測定セルを流れるガスの濃度を分析し、該濃度と所定の閾値に基づいてパージが完了したか否かを判別し、パージが完了した場合には、前記パージラインの第2開閉弁を閉止すると共に、所定のサンプルガス供給路の第1開閉弁を開弁するようにした赤外線ガス分析システム。