特許
J-GLOBAL ID:200903009495834126

単結晶サフアイアの接合体およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高木 義輝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-253635
公開番号(公開出願番号):特開平5-085894
出願日: 1991年10月01日
公開日(公表日): 1993年04月06日
要約:
【要約】【目的】 比較的低温で、しかも大気圧下で、特別な雰囲気を必要とせず単結晶サファイア体の接合を目的とするものである。【構成】 鏡面仕上げした接合面にシリコン膜を被着させた単結晶サファイア体の接合面同士を密接させ、接合してなる単結晶サファイアの接合体である。 また、単結晶サファイア体の接合面を鏡面仕上げし、この接合面にシリコン膜を被着した後、互いの接合面同士を密着させて 300°C以上に加熱し接合する工程からなる単結晶サファイアの接合体の製造方法である。
請求項(抜粋):
鏡面仕上げした接合面にシリコン膜を被着させた単結晶サファイア体の接合面同士を密接させ、接合してなる単結晶サファイアの接合体。
IPC (3件):
C30B 29/20 ,  C04B 37/00 ,  C30B 33/06

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