特許

J-GLOBAL ID：200903009496410796

波長モニタ及びレーザ光源装置

発明者： 伊神 剛
出願人/特許権者： サンテック株式会社
代理人 (1件)： 岡本 宜喜 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-025826
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223761
出願日： 1999年02月03日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 光源の波長を正確にモニタする波長モニタとこれを用いたレーザ光源を提供すること。【解決手段】 入射した光源からの光をビームサンプラ11で分岐し、わずかに角度の異なる2つの分岐光を得る。この分岐光をエタロン13に入射することによって、互いに波長-透過率特性の位相の異なる特性を得る。波長-透過率特性を正規化し、交互に直線性のよい波長-透過率曲線を用いて基準波長からの波長変化分を算出する。ビームサンプラ11の透過光をビームサンプラ12で分岐し、他の2つの分岐光を得る。その分岐光を直接及びスロープフィルタ18を介して受光し、スロープフィルタ18の波長-透過率から入射光の基準波長を得る。そして基準波長と波長変化分とを加算して、入射光の正確な波長を得るようにしている。

請求項（抜粋）：

入射光の一部を分岐し、平行状態から所定角度異なった第1〜第n(n≧3)の分岐光を得る第1の光分岐部と、入射光の一部を分岐し、第n+1,第n+2の分岐光を得る第2の光分岐部と、周期的な波長-透過率特性を有し、前記第1の光分岐部より出射される第1〜第nの分岐光に対して夫々波長-透過率特性の位相のずれた出力をするエタロンと、前記エタロンを透過した第1〜第nの分岐光を光電変換する第1〜第nの光電変換部と、入射波長に対する透過率特性が連続的に変化する特性を有し、前記第n+2の分岐光が入射されるスロープフィルタと、前記第n+1の分岐光及び前記スロープフィルタを透過した第n+2の分岐光を光電変換する第n+1,第n+2の光電変換部と、前記第1〜第nの分岐光を前記第n+1の分岐光で割算することによって夫々正規化する第1〜第nの割算部と、前記第1〜第nの割算部の出力のうち所定範囲の出力値の1つを選択する切換部と、前記第n+2の分岐光を第n+1の分岐光で割算することによって正規化する第n+1の割算部と、前記エタロンの波長-透過率特性の各周期毎に所定の基準波長からの入射光の波長変化分を算出する波長変化分算出部と、前記第n+1の割算部の出力に基づいて前記エタロンの周期的な波長-透過率特性のいずれかの基準波長を算出する波長算出部と、前記波長算出部及び波長変化分算出部の出力を加算することによって入射光の波長を算出する加算部と、を具備することを特徴とする波長モニタ。

IPC (3件)：

H01S 3/10 ,  H01L 31/12 ,  H01S 3/137

FI (3件)：

H01S 3/10 ,  H01L 31/12 H ,  H01S 3/137

Fターム (11件)：

5F072AB13 ,  5F072HH02 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK07 ,  5F072KK08 ,  5F072KK30 ,  5F072RR01 ,  5F072YY20 ,  5F089AA01 ,  5F089CA14 ,  5F089GA07