感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-326353
公開番号（公開出願番号）：特開2003-131380
出願日： 2001年10月24日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】希アルカリ水溶液を用いて現像可能で、解像性が良好で耐エッチング性に優れ、アルカリ水溶液による剥離において剥離片形状が細片となる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を持つアルカリ可溶性樹脂(A1)と、エチレン性不飽和基を持たないアルカリ可溶性樹脂(A2)と、重合性モノマー(B)及び、光重合開始剤(C)とからなる組成物であって、(A1)成分が、一般式(1)で示されるカルボキシル基を有するセグメントを含む共重合体に一分子中に一個以上のビニル基とエポキシ基を有する脂環式エポキシ基含有不飽和化合物を開環付加反応させて得られる側鎖にビニル基とカルボキシル基を有する変性重合体とする。【化1】(式中、R1は同一又は異なっていてもよく、水素原子又はメチル基を表し、R2は炭素数1〜5の直鎖又は側鎖構造のアルキル基を表す)

請求項（抜粋）：

カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を持つアルカリ可溶性樹脂(A1)と、エチレン性不飽和基を持たないアルカリ可溶性樹脂(A2)と、重合性モノマー(B)及び、光重合開始剤(C)とからなることを特徴とする組成物であって、前記(A1)成分が、下記一般式(1)で示されるカルボキシル基を有するセグメントを含む共重合体(1)に一分子中に一個以上のビニル基とエポキシ基を有する脂環式エポキシ基含有不飽和化合物を開環付加反応させて得られる、側鎖にビニル基とカルボキシル基を有する変性重合体であることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中、R1は同一又は異なっていてもよく、水素原子又はメチル基を表し、R2は炭素数1〜5の直鎖又は側鎖構造のアルキル基を表す。また、m及びnは重合度を表し、m/n=0.5〜2.4(モル比)である。)

IPC (5件)：

G03F 7/038 501 , C08F 8/00 , C08F290/06 , G03F 7/004 512 , G03F 7/033

FI (5件)：

G03F 7/038 501 , C08F 8/00 , C08F290/06 , G03F 7/004 512 , G03F 7/033

Fターム (41件)：

2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AB01 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC53 , 2H025BC81 , 2H025BC85 , 2H025BC92 , 2H025CA01 , 2H025CA27 , 2H025CB13 , 2H025CB16 , 2H025CB43 , 2H025CB51 , 2H025CB52 , 2H025CB55 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J027AA02 , 4J027AJ06 , 4J027BA06 , 4J027BA14 , 4J027BA18 , 4J027BA19 , 4J027CA02 , 4J027CC05 , 4J027CD10 , 4J100AJ02Q , 4J100AL02P , 4J100BA15H , 4J100BC04H , 4J100CA04 , 4J100HA62 , 4J100HC39 , 4J100JA37

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