特許

J-GLOBAL ID：200903009499619572

セラミツクセツターの製造方法

発明者： 吉井 隆裕 ,  竹口 英樹 ,  吉田 將展
出願人/特許権者： 株式会社タクマ ,  輝化学工業株式会社
代理人 (1件)： 中尾 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-233092
公開番号（公開出願番号）：特開平5-070264
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【目的】 セラミックファイバの特徴を生かしたセラミックセッターの製造方法である。【構成】 3〜20重量%のセラミックファイバと、15〜60重量%のアルミナ質粉末と、30〜70重量%の熱膨張率が3×10-6/°Cを越えない無機質低膨脹率粉末と、0.1〜5重量%のマグネシア粉末と、2〜20重量%の水溶性または水分散性の高分子化合物との混合物を含む抄造原料液を抄造した後、得られた湿板を乾燥して焼成原板とし、この焼成原板を1000°C以上の高温度で焼成する。得られたセラミックセッターは、強度が大きく、耐熱性があって、スポーリングに耐え、軽く、薄く、経済性が高い。大きなセッターを容易に製造できるので、これを切断し、一度に多数の小さなセッターを能率よく製造することもできる。

請求項（抜粋）：

3〜20重量%のセラミックファイバと、15〜60重量%のアルミナ質粉末と、30〜70重量%の熱膨張率が3×10-6/°Cを越えない無機質低膨脹率粉末と、0.1〜5重量%のマグネシア粉末と、2〜20重量%の水溶性または水分散性の高分子化合物との混合物を含む抄造原料液を抄造した後、得られた湿板を乾燥して焼成原板とし、この焼成原板を少なくとも1000°Cの高温度で焼成することを特徴とするセラミックセッターの製造方法。

IPC (3件)：

C04B 38/00 304 ,  C04B 35/64 ,  C04B 35/80