特許
J-GLOBAL ID：200903009504342827
固体レーザ発振器及び露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-020115
公開番号（公開出願番号）：特開平7-231135
出願日： 1994年02月17日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、効率良く第3高調波を発生できる固体レーザ発振器を提供するにある。【構成】固体レーザ媒質2から発生する基本波のレーザ光1a,1bは、それぞれ集光レンズ5a、及び5bに入射し、集光レンズ5a,5bと全反射凹面鏡3a、及び3bとで形成されるそれぞれの焦点に設置された第1の非線形光学結晶6a、及び第2の非線形光学結晶6bに入射し、非線形光学結晶6aから発生した第2高調波は、ダイクロイックミラー7a,7bで反射して非線形光学結晶6bに入射し、非線形光学結晶6bで基本波と第2高調波とが合成された第3高調波は、ダイクロイックミラー7cから取り出される。
請求項（抜粋）：
固体レーザ媒質を含んだレーザ共振器において、前記固体レーザ媒質と前記共振器を構成する一方の鏡との間に第1の非線形光学結晶を配置し、かつ前記固体レーザ媒質と前記共振器を構成するもう一方の鏡との間に第2の非線形光学結晶を配置し、かつ前記固体レーザ媒質と前記第1の非線形光学結晶との間に、基本波と第2高調波とを分離できる第1の分離ミラーを配置し、かつ前記固体レーザ媒質と前記第2の非線形光学結晶との間に、基本波と第2高調波とを分離できる第2の分離ミラーを配置し、かつ第2高調波に対する共振器を構成し、かつ前記第2高調波に対する共振器中に第2高調波と第3高調波とを分離できる第3の分離ミラーを配置することを特徴とした固体レーザ発振器。
IPC (2件)：
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