特許
J-GLOBAL ID：200903009506809013
エッチング終点検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-314739
公開番号（公開出願番号）：特開平11-150099
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】【課題】 エッチング室にエッチング検出器を取り付けた際のエッチング検出器の透明ガラス等の交換を短時間で行えるようにする。【解決手段】 所定の真空状態にてエッチングを行うエッチング室11に取り付けられるエッチング終点検出器1であって、光源を有して光学的にエッチングの終点を検出する検出器本体2と、光源からの光を導く光路3dを有し、光路3d中に光を透過する透明ガラス3bを配しかつ光路3dを外部から気密に形成した取付部3とを備えてなり、取付部3の検出器本体2と反対の側には、取付部3の光路3dを取付部3の外部と連通状態あるいは非連通状態に切り換えるための開閉バルブ4が設けられている構成になっている。
請求項（抜粋）：
所定の真空状態にてエッチングを行うエッチング室に取り付けられるエッチング終点検出器であって、光源を有して光学的にエッチングの終点を検出する検出器本体と、光源からの光を導く光路を有し、該光路中に光を透過する透明ガラスを配しかつ前記光路を外部から気密に形成した取付部とを備えてなり、前記取付部の前記検出器本体と反対の側には、前記取付部の光路を取付部の外部と連通状態あるいは非連通状態に切り換えるための開閉バルブが設けられてなることを特徴とするエッチング終点検出器。
IPC (4件)：
H01L 21/3065
, C23F 4/00
, G01N 21/27
, G01N 21/63
H01L 21/302 E
, C23F 4/00 F
, G01N 21/27 B
, G01N 21/63 Z
