特許

J-GLOBAL ID：200903009511442209

ウェーハ研磨装置およびウェーハ保持用インサートの洗浄方法

発明者： 小林 弘之 ,  遠藤 修 ,  宮入 広雄
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外12名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148300
公開番号（公開出願番号）：特開平10-337656
出願日： 1997年06月05日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、ウェーハ保持用インサートの空孔内にスラリーを残留させることなく洗浄作業が行え、かつウェーハ保持用インサート交換直後における研磨作業の立ち上げを迅速化することを課題とする。【解決手段】 ウェーハ研磨装置に、供給口が上方に向けられるノズルと、ノズルに純水を供給する純水供給手段と、植毛先端がノズルの供給口よりも上方に配されるブラシと、プラテンから引き上げられたウェーハ保持用インサートにおけるウェーハ保持面の下方位置にブラシおよびノズルを出没自在に移動させるとともにブラシをウェーハ保持面において摺動させることのできる駆動手段を備えてなるインサート洗浄装置を設け、ウェーハ保持面に純水を供給しつつブラシを摺動させて、迅速かつ確実に空孔内のスラリーを純水に置換するようにしている。

請求項（抜粋）：

表面に研磨パッドが貼付されたプラテンと、研磨すべきウェーハの一面を保持するとともに他面を前記研磨パッドに当接させる1または2以上のウェーハ保持ヘッドと、これらウェーハ保持ヘッドを前記プラテンに対し相対運動させることにより前記研磨パッドで前記ウェーハの他面を研磨するヘッド駆動機構とを備え、前記ウェーハ保持ヘッドに、ウェーハ保持面をなす一面に多孔質層を有するとともに該多孔質層の空孔内に浸透させた液体の表面張力によりウェーハを保持するウェーハ保持用インサートが設けられたウェーハ研磨装置において、供給口が上方に向けられるノズルと、該ノズルに純水を供給する純水供給手段と、植毛先端が前記ノズルの供給口よりも上方に配されるブラシと、該ブラシおよび前記ノズルを、前記プラテンから引き上げられた前記ウェーハ保持用インサートにおけるウェーハ保持面の下方位置に移動可能とするともに、前記ブラシを前記ウェーハ保持面において摺動させる駆動手段とを備えたインサート洗浄装置が設けられていることを特徴とするウェーハ研磨装置。