結晶成長のための改良装置および方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：関根秀太
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-160283
公開番号（公開出願番号）：特開平5-330971
出願日： 1992年05月27日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】垂直こう配凍結法 Vertical Gradient Freeze (VGF) 及び垂直ブリッジマン Vertical Bridgeman (VB) 結晶成長法を使って、比較的大きな粒径の単結晶構造を成長させるための装置及び方法の提供。【構成】第一の遷移成長領域で粒径の小さい種子結晶からNユニットよりかなりちいさなXユニットの粒径をもつ結晶まで成長させる工程と、ほぼ安定した領域においてその結晶を中間の粒径から同程度までまたはこれよりやや大きな中間の粒径まで成長させる工程と、第二の遷移領域でその結晶を中間粒径から目標とする最終製品の粒径まで成長させる工程と、安定した主要成長領域においてその結晶を目標とする最終製品の長さまで成長させる工程とからなる。

請求項（抜粋）：

VGF 法と VB 法の結晶成長に使用する、Nユニットを目標粒径とした単結晶構造成長のための円形るつぼにおいて、該るつぼが小さな開放端部と大きな開放端部とからなる切頭円すい形状からなる、少なくとも第1と第2の円形遷移成長領域からなり、該第2遷移領域の大きな開放端部の直径が該目標粒径に対応しており、該切頭円すい形の挟角がY度であり、該るつぼがさらに一端が閉じ他端が開放している円筒形の種子用のくぼみ部からなり、該種子用くぼみ部の該開放端が該第1遷移領域の小さな開放端部と機械的に整合して接合しており、該第1遷移領域の該大きな開放端部と該第2の遷移領域の該小さな開放端部との直径が互いに等しくかつXユニットであり、Xの数値はNの数値よりかなり小さいものであり、該るつぼはさらに一つの安定した円筒形の、直径がXユニットである中間の大きさの両端が開放した成長領域からなり、該中間サイズの成長領域が該第1の遷移領域に機械的に整合されて接合しており、該中間サイズの成長領域の他端が該第2遷移領域の該小さな端部に機械的に整合されて接合しており、該るつぼがさらに直径がNユニットであり該第2遷移成長領域の該大きな開放端部に機械的に整合して接合している最終管状主要成長領域を含むことを特徴とするるつぼ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-036192
特開昭64-037486

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