特許
J-GLOBAL ID:200903009514060382

積層型圧電素子及びその製造方法並びに分極方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-099305
公開番号(公開出願番号):特開平9-266332
出願日: 1996年03月28日
公開日(公表日): 1997年10月07日
要約:
【要約】【課題】 積層型圧電素子の分極工程において、鼓状の変形や内部応力の発生しない、形状寸法精度の優れた積層型圧電素子の製造方法並びに分極方法及びこの方法により得られた積層型圧電素子を提供する。【解決手段】 圧電材料と内部電極が交互に積層された圧電層部分と、該圧電層部分の上下に配設された内部電極を含まない保護層部分とを一体焼成して、加工する積層型圧電素子の製造方法において、上下の保護層部分の上面と下面間に電界をかけ、保護層部分と圧電層部分を同時に分極する工程と、所定の形状に切断加工する工程を有する積層型圧電素子の製造方法並びに分極方法及びこの方法で製造された積層型圧電素子。
請求項(抜粋):
圧電材料と内部電極とが交互に積層された圧電層部分と、該圧電層部分の上下に配設された内部電極を含まない保護層部分とを一体焼成して得られる積層型圧電素子であって、前記保護層部分と前記圧電層部分双方が分極されていることを特徴とする積層型圧電素子。
IPC (2件):
H01L 41/083 ,  H01L 41/22
FI (2件):
H01L 41/08 S ,  H01L 41/22 Z
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平2-020080
  • 特開平2-020080

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